Wikipedia:Bücher/Mikrotechnische Sensoren und Aktoren
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Mikrotechnische Sensoren und Aktoren
[Quelltext bearbeiten]Nach einer Vorlesung an der Technischen Universität München
[Quelltext bearbeiten]- Mikrosystemtechnik
- Mikrosystem (Technik)
- Mikrosystemtechnik
- Mikroelektronik
- Silizium
- Silicium
- Czochralski-Verfahren
- Impfkristall
- Zonenschmelzverfahren
- Kristall
- Kristallstruktur
- Kristallorientierung
- Einkristall
- Elementarzelle
- Millersche Indizes
- Gitterfehler
- Innenlochtrennen
- Drahtsägen
- Wafer
- Flat (Wafer)
- Notch (Wafer)
- Ätzen
- Trockenätzen
- Plasmaätzen
- Piezoeffekt und Formgedächtnislegierungen
- Piezoelektrizität
- Piezoresistiver Effekt
- Piezotechnik
- Piezoelement
- Piezokeramik
- Ultraschallmotor
- Kappelmotor
- Formgedächtnislegierung
- Fertigungsverfahren
- Halbleiter
- Halbleitertechnik
- Mikromechanik
- Dünnschichttechnologie
- Thermische Oxidation von Silizium
- Siliciumdioxid
- Epitaxie
- Chemische Gasphasenabscheidung
- Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung
- Physikalische Gasphasenabscheidung
- Thermisches Verdampfen
- Sputtern
- Reaktives Ionentiefenätzen
- Rotationsbeschichtung
- Fotolithografie (Halbleitertechnik)
- Verbindungstechnik und Rapid Prototyping
- Chipbonden
- Drahtbonden
- Flip-Chip-Montage
- Anodisches Bonden
- Rapid Prototyping
- Stereolithografie
- Lasersintern
- Fused Deposition Modeling
- Digital Fabricator
- Laserablation
- LIGA
- Galvanotechnik
- Funkenerodieren
- Aktoren
- Aktorik
- Aktor
- Mikrospiegelaktor
- Schrittmotor
- Reluktanzmotor
- Tintenstrahldrucker
- Sensoren
- Sensorik (Technik)
- Sensor
- Analog-Digital-Umsetzer
- Pulsamplitudenmodulation
- Pulsfrequenzmodulation
- Pulsphasenmodulation
- Pulsweitenmodulation
- Kapazitiver Sensor
- Induktiver Sensor
- Magnetostriktion
- Piezoelektrischer Sensor
- Hall-Sensor
- Photodiode
- CCD-Sensor
- Drucksensor
- Temperatursensor
- Photoelektrische Messverfahren
- Thermische Anemometrie
- Ionensensitiver Feldeffekttransistor
- Westentaschenlabor
- Elektrophorese
- Beschleunigungssensor
- Drehratensensor
- Luftmassenmesser
- Glasfasern
- Lichtwellenleiter
- Dispersion (Glasfaser)
- Stromsensor
- Faraday-Effekt
- Faseroptische Temperaturmessung
- Abstandsmessung (optisch)
- Faserkreisel
- Michelson-Interferometer
- Mikroskoptechnik
- Mikroskop
- Lichtmikroskop
- Röntgenmikroskopie
- Elektronenmikroskop
- Rastersondenmikroskopie
- Konfokalmikroskop
- Fluoreszenzmikroskopie
- STED-Mikroskop
- Magnetische Mess- und Speichertechnik
- Festplattenlaufwerk
- Magnetkopf
- GMR-Effekt
- AMR-Effekt
- Nanotechnologie
- Nanotechnologie
- Rastertunnelmikroskop
- EUV-Lithografie
- Nanoprägelithografie
- Nanoteilchen
- Fullerene
- Kohlenstoffnanoröhren
- Aerogel
- Sol-Gel-Prozess