Deutsch: Schematischer Aufbau des Magnetonsputterns: Im ersten Schritt werden die Argonatome durch das Plasma ionisiert und auf das Target beschleunigt. Dadurch werden Targetionen herausgeschlagen, die aufgrund ihrer Ladung zum Substrat fliegen und sich dort anlagern.
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2008-12-03 12:02 User:Saendie11 448×305× (56278 bytes) {{Information |Beschreibung = Schematischer Aufbau des Magnetonsputterns: Im ersten Schritt werden die Argonatome durch das Plasma ionisiert und auf das Target beschleunigt. Dadurch werden Targetionen herausgeschlagen, die aufgrund ihrer Ladung zum Substr
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